项目名称：昆明物理研究所感应耦合等离子体刻蚀机采购项目（二次）
项目编号：0653-204000001016
招标范围：货物名称：感应耦合等离子体刻蚀机。 数量：1台。 简要技术规格：感应耦合等离子体刻蚀机主要由以下部件组成：包括刻蚀腔体、进样室、等离子源、刻蚀终点监测、气路系统、真空系统、冷水机、控制单元等主要部件。该设备用于磷化铟，铟镓砷等化合物半导体材料刻蚀，可以用来刻蚀氧化硅，氮化硅。 备注：具体采购产品技术与服务要求详见招标文件第八章“货物需求一览表及技术规格”。
招标机构：云南招标股份有限公司
招标人：昆明物理研究所
开标时间：2020-07-23 09:30
公示时间：2020-09-01 14:44 - 2020-09-04 23:59
中标结果公告时间：2020-09-11 00:08
中标人：诠时科技有限公司
制造商：0xford Instruments Nanotechnology Tools Limited trading as 0xford Instruments Plasma Technolog
制造商国家或地区：英国